二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance RTP #9026095 待售
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已售出
ID: 9026095
Chamber only, 12"
Included with Chamber:
Edge Ring
Rotor; Post
Rotation; Maglev
Radiance Reflector plate (no He Purge)
Pyrometer gauges
Radiance Lamp (full set included)
Rev 1 Lamp head assembly
Remote Radiance Power Box
Original RTC computer (converted to Ethernet)
Gas Panel: ISSG Ready
Gas Lines: N2, O2, H2, N2O, NO, NH3
Unit 8156 MFCs
Not Included with Chamber:
System Main-frame
Main-Frame Power box
Vacuum Pump
Power Interconnects
Note: Chamber has not been decontaminated
Idle date: 2009
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP是一种具有革命性意义的快速热处理工具,为先进的半导体制造提供卓越的设备性能和产量。RTP独特的微波诱导等离子体技术利用射频(RF)频率在清洁室级空气中快速加热和冷却晶片而不直接接触基板,从而最大限度地提高了能量效率。这种方法消除了直接接触造成污染的可能性,使AMAT Radiance RTP成为制造多层高精度、高一致性设备的理想工具。APPLIED MATERIALS Radiance RTP提供四种热处理选项,用于调整低通信互连的热剖面。这些包括低温快速热退火(LT-RTA)、快速热氮化(RTN)、快速热氧化(RTO)和快速热处理(RTP)。每个选项都可以单独配置和控制,以提供精确的热控制。RTP还提供了快速晶圆阵列和非易失性内存设备形成的能力。Radiance RTP具有最先进的数字工业控制器,可提供准确性、可重复性和易操作性。这包括对基板温度、时间和压力等关键参数的实时监控和趋势。使用AMAT ControlNet软件可以访问历史数据、诊断操作和计划维护任务。在环境性能方面,AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance RTP提供降低颗粒物水平、最小化废物产生和零排放处理。晶圆等离子体源发生器还通过提供多余的时钟速率来提高工艺稳定性和均匀性,这有助于避免晶体损坏并延长设备寿命。AMAT Radiance RTP是先进半导体制造和器件生产的通用工具.它具有快速热处理功能,可提供高精度和一致性、低污染风险以及符合最严格行业标准的环保性能。APPLICED MATERIALS RADANCE RTP凭借其革命性的微波诱导等离子体技术和最先进的数字工业控制器,是高性能、高产制造的最佳选择。
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