二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293591364 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radiance是一种快速热处理器（RTP）,旨在利用快速热退火方面的最新进展,该过程可快速高效地提高半导体器件的设备性能。AMAT Vantage Radiance提供了超过其他当前可用RTP的高温处理功能。它结合了高效率的加热和严密控制的热均匀性，即使在最高温度下也能达到极佳的均匀性。APPLIED MATERIALS Vantage Radiance的模块化设计允许最大程度地灵活实施,使用户能够自定义过程设定点,并在单个晶圆或群集配置之间进行选择。设备直观的用户界面包括一个易于访问的编程系统，有多个可编程参数支持一系列条件，包括单晶圆和多晶圆过程。Vantage Radiance有一个独特的热控制单元，它提供晶圆级对温度的精确控制，允许晶体管和LED等设备的优化。该机的温度控制器设计为快速准确地将晶片带到设定点，最大限度地减少能耗，最大限度地减少周转时间。由于工艺时间较短，AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Radiance也适用于一系列金属化工艺，包括PECVD和ALD膜的沉积。该工具还可以针对特定的金属化过程进行自定义配置,以最大限度地提高生产率。AMAT Vantage Radiance除了具有快速热处理能力外，还凭借其内置的清洁功能提供了卓越的抗污染能力。资产使用高压清洗、等离子体清洗和臭氧灭菌，在启动过程之前清除模型中的有机污染物。APPLICED MATERIALS Vantage Radiance还提供了多种安全功能,包括冷却和清除系统以及反应熄灭功能,以确保过程安全完成。此外,该设备符合SEMI F47和ISO 14644等标准,为操作提供了额外的安全性。总体而言,Vantage Radiance是一款功能强大、高效且可靠的快速散热处理器,提供卓越的散热控制和卓越的工艺效果。其先进的功能和全面的安全协议使其成为满足各种半导体处理需求的宝贵工具。