二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293706716 待售

ID: 293706716
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan™是一种快速热处理器,经过专门设计,可提供最高的热处理精度和可重复性。这种先进的设备可确保在各种热处理应用中提供高性能和成本敏感的解决方桉。AMAT Vantage Vulcan利用先进的气体管理技术和高精度运动控制的创新组合,提供最高的温度均匀性和准确的温度变化率性能。其高效、低成本的设计使其非常适合各种热处理需求,包括氧化、氮化、扩散、退火、沉积等。APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan还具有先进的用户界面,使操作员能够快速配置和调整其热过程的参数。Vantage Vulcan提供了最大的灵活性和多功能性,占用空间很小,可以同时执行多个热过程。它提供最多三个独立的温度区,每个温度区可以在批量或连续处理模式下运行。先进的AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan控制系统通过在晶圆级精确控制温度来确保最大精度和可重复性。在晶圆级监测级联温度点,以确保严密的温度控制,精确的轮廓匹配。AMAT Vantage Vulcan上的定制气体溷合和输送单元使用氧气和氮气的调节气流,以确保可重复和可预测的沉积。气体控制机还利用增强的自动气体输送到基板,以提高工艺的均匀性。应用材料Vantage Vulcan是满足各种热工艺要求的理想解决方桉。其先进的设计和技术使其成为任何热处理应用的可靠解决方桉,从而实现了一致的质量和可重复的结果。
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