二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9293645 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan
ID: 9293645
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2014 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一种快速热处理设备,设计用于在宽广的温度范围内提供各种特定工艺温度的快速温度斜坡速率。它用于快速加热或冷却用于加工应用的基板。该系统配有加热机柜、宙斯RTP控制器、熔炉模块、计算机控制器和软件接口。加热机柜的设计是为你的基板提供受控加热。它有一个独特的旁路流动单元和绝缘壁均匀,均匀分布的热空气流动。加热的机柜是可调的,以适应特定的温度需求,从而确保质量,可重复的结果每次。宙斯RTP控制器设计用于在热过程中精确调节和控制基板温度、斜坡速率和压力。它具有可调气体压力和高温能力,以及可调工艺参数和可定制菜单。它旨在通过提高流程准确性和可重复性来提高重复性和降低成本。熔炉模块是一种高温热源,可以根据各种加工参数进行调节。其设计目的是在任何过程中提供可靠的温度控制和均匀的温度。它还有一个温控机,以保证均匀性和稳定性。AMAT Vulcan电脑控制器与RTP控制器和宙斯CPU实时通信,允许精确控制时间、温度和压力设置。此工具还提供数据采集和存储功能。该软件界面使您的计算机易于管理和控制Vulcan进程。它包括各种用户友好的菜单和数据输入选项,旨在最大程度地减少操作员错误。该软件允许数据分析、过程模拟和配方管理,使用户能够优化其过程以获得更好的结果。AMAT Vantage Vulcan是需要精确温度控制和短处理时间的快速热处理应用的完美解决方桉。此资产配备了高级功能和功能,以确保可靠的结果,并将帮助您充分利用热处理。
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