二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9316452 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一款革命性的快速热处理器（RTP），设计用于先进的半导体加工。AMAT Vantage Vulcan采用了一项正在申请专利的高效技术-All-Gas Pulse Control,该技术可实现热退火处理的卓越效果,其应用目标范围从内存到逻辑设备结构。APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan的许多性能优势都源于采用AMAT专有微波辅助反应蚀刻（MARE）技术。Vantage Vulcan利用MARE实现了比传统RTP平台更低的电子束和VUV强度的热退火处理。这降低了设备因高温而损坏的风险，并通过确保RTP腔室的维护频率降低了拥有成本。AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan还提供优于± 3°C精度的基板温度均匀性,允许精确的热过程。该平台还提供了更短的周期时间和更快的冷却速度,以及预先配置的单晶圆配方的灵活性。此外，与传统的RTP硬件相比，AMAT Vantage Vulcan为加工室提供了极低的颗粒排放，确保了室内环境的最小化。该平台提供惰性或活性气体引入，具有调节气流的精密控制能力。这为介电和半导体计量应用提供了广泛的工艺机会。应用材料Vantage Vulcan非常适合加速退火、快速扩散、快速氧化、层状薄膜显影等等。坚固但紧凑的单元配有氮气室、无氨室清洗和氦基温度控制器，以确保可靠和一致的结果。系统可以串联或独立操作，并配有多种配方内存和全内存备份功能。Vantage Vulcan是一个创新的RTP平台，提供可靠性能和性价比的高融合。