二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9355344 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan快速散热处理器是一款生产级、独立、快速的散热处理器,旨在满足先进半导体技术的严格要求。它能够在高达1350°C的温度下注册15秒或更短的时间。Vulcan由一个存储模块组成,该存储模块在受控环境中容纳快速热处理器（RTP）。RTP使用聚焦热以及获得专利的定向空气技术,在300 mm以下的晶片上快速提供均匀且可重复的温度剖面。它旨在满足许多具有挑战性的过程要求,例如低EOM、DRAM、SRAM、闪存和其他内存。Vulcan易于操作，可配置为运行多个参数明确的工艺配方，如工艺温度、坡道速率和基板移动速率。通过AMAT EnGen热过程控制软件编写和监控的配方确保了过程的可重复性和准确性。此外，Vulcan还采用了高度一致和可靠的扫描系统，进一步确保了工艺概况的细节。Vulcan减少了热循环时间，从而提高了吞吐量和效率。它还提供了多种工艺能力，以满足各种内存解决方桉的苛刻要求，如电荷泵送、掺杂剂扩散、存储节点制造、热氧化、低EOM处理和多晶硅掺杂。Vulcan允许清洁室集成,晶圆的快速、高效进出,但所有处理都在机箱内完成。它采用重型材料建造，以确保长期的可靠性。此外，封闭式设计允许以最小的污染进行自给自足的处理，并有助于有效的废物和热量管理。Vulcan是一款非常可靠、高效的快速散热处理器,其小巧的设计使其成为生产当今高级内存解决方桉的理想选择。它提供统一和可重复的处理,而且极具成本效益,有助于确保长期节约。