二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9359551 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan是一款快速热处理器（RTP），旨在允许高精度半导体处理。该工具具有较高的加热速率和卓越的均匀性，具有优良的无粒子和无粒子操作，符合国际标准和技术性能标准。用于退火、激活等工艺步骤。AMAT Vantage Vulcan由一个密封的腔室组成，用超纯氮加压以消除污染，为生产优质产品提供稳定的环境。该工艺室包含一个通过红外灯加热以达到所需温度的磁感器。这与压力控制器相结合，以保持可重复的加热速率和均匀性。例如,两区加热器控制顶部和底部温度。此外，气体歧管为有效控制压力提供了精确的流量控制。应用材料Vantage Vulcan通常用于制造复杂的设备,例如LCD、OLED和半导体。该系统能够精确控制高达1200 °C的温度,并具有极快的加热和冷却速率。它具有内置软件的实时控制器，可最大程度地控制过程，并具有各种安全功能。它可以配置为容纳各种各样的材料和晶圆尺寸。而且，Vantage Vulcan是一个可靠的系统，允许低粒子撞击和出色的无粒子操作。该系统有超过30,000个热循环的保证周期,这意味着无需定期维护即可重复使用。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan具有高精度和精确度,是制造复杂设备的理想解决方桉,也是提高生产率和产量的经济高效的方法。