二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9390649 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一款快速热处理器（RTP）,可为各种半导体应用提供快速、准确的结果。这种设备以紧凑的外形设计,具有很高的吞吐量和精确度,是满足基板加工需求的高效且经济高效的解决方桉。采用300 mm的设计，这种RTP能以比传统方法快得多的速度提供晶片基板的脉冲退火和尖峰退火。AMAT Vantage Vulcan进行快速热处理（RTP）以优化晶圆和其他基材的流动和生产。该系统使用强大的加热和冷却,以高达1250°C/sec的速度快速加热和冷却基板。Vulcan中的淹没电弧加热（SAH）允许精确和可重复的处理。这个SAH还提供了高度的均匀性，意味着热量均匀分布，以一致和有效的方式达到精确的目标温度。此外，这一单元是紧凑的，浪费极少，并允许统一的过程均匀性。APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan提供了极大的多功能性和灵活性。它允许同时加工多种基材，最多有6种不同的工艺配方。此外，这台机器对每一层的厚度进行精确的控制，分辨率非常高，为2纳米。这种精确度导致了很高的生产率水平,因为不需要重新处理不合适的样品。VantageVulcan还提供出色的热均匀性，大大减少了所有基材类型的可重复性变化。这有助于消除过程调整的需要,并有助于提高生产过程中的产量。它还提供了不同反应物来源的选择，包括H2、N2/O2、Ar/O2等。这使得它适合多种材料和工艺类型，包括先进的金属氧化物。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Vantage Vulcan是晶圆和基材加工需求的理想选择，因为它提供了快速准确的热处理。它具有优化的设计，提供高吞吐量和最大精度，以及出色的热均匀性和均匀性。此外，它还具有多种工艺配方和反应物来源，具有极大的多功能性和灵活性。这一工具紧凑、高效，极具成本效益。