二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9398185 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan是一款为先进芯片制造而设计的快速热处理器（RTP）。它是一种单晶片RTP设备，为各种设备技术提供高温处理。AMAT Vantage Vulcan可以容纳各种晶圆尺寸和基材，专门为积极的加工应用而设计。应用材料Vantage Vulcan在整个加热过程室中提供均匀的温度,从而实现精确的温度控制和晶圆的一致性。它具有专有的前电离和后清除系统，使颗粒沉积最小化，循环吞吐量最大化。Vantage Vulcan包括一个先进的Recipe自动化单元和具有实时数据收集功能的车载监控（OBM），允许用户快速优化流程。Vulcan的加热机拥有先进的Pyrometer，可使其达到高达20°C/s的温度斜坡速率，使其成为最快和最可靠的RTP系统之一。它还包括一个先进的气体分配工具，提供精确的流量控制和均匀的压力在整个过程腔室，最大化腔室稳定性和过程精度。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan还提供卓越的稳定性、热均匀性和可重复性,是先进设备制造的理想选择。它专为易于安装和维护而设计,具有快速更换的盒式磁带、简化的晶片加载和自动晶片支持功能。该资产还具有很高的能源效率，这要归功于超导预磁导体和低成本冷却器单元。总体而言,AMAT Vantage Vulcan是一款高性能、可靠的快速散热处理器。它提供了卓越的温度均匀性、循环吞吐量和更快的坡道速率以进行积极的处理,使其成为先进设备制造的理想工具。