二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9284534 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Rapid Thermal Processor是一款先进的热处理设备,使半导体器件制造商能够在尽可能快的时间内生产出质量最高的半导体产品。它提供了具有毫秒瞬态控制、精确温度剖面和复杂气体输送选项的热循环。AMAT Vantage RTP设备是半导体行业最先进的热处理工具之一。应用材料Vantage RTP利用多个加热元件在每个加工步骤提供精确的温度控制。这些加热元件由辐射热量的红外（IR）散热器和传递热量的热气源组成。红外散热器和热气发生器排列成两个或三个模块的阵列，以实现精确的温度控制。通过红外散热器和热气源的主动控制来调节热量，以确保对晶片施加确切的热量。Vantage RTP还提供进程室通信（PCC）系统，使用户能够与设备实时交互。这台PCC机器通过图形用户界面提供对当前温度曲线、腔室快门运动、温度报警等参数的直接反馈。此外,该工具还提供自动实时日志记录,用于数据挖掘和详细的后期处理。这使用户能够回顾流程数据并根据需要进行流程调整。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage RTP具有微型处理器,具有一整套功能,可精确控制散热特性,同时仍允许处理灵活性。例如，AMAT Vantage RTP具有多点温度剖面模式、高速坡道速率模式、低温烘烤模式和低温快速热退火模式。这些用户可编程的功能使用户能够根据自己的特定需求来定制热量配置文件。应用材料Vantage RTP还包括提供精确温度控制和大气成分监测的车载气体控制资产（GCS）。GCS还允许用户溷合特定气体溷合物和闭环反馈控制，以实现准确的大气控制。这样可以确保准确和可重复的处理条件。总体而言,Vantage RTP是一种强大而精密的热处理模型。它提供精确的温度控制和用户可编程的功能,使客户能够根据自己的特定需求量身定制热量配置文件。此外，它的GCS允许用户监控和控制工艺室内的大气。这样可以确保准确和可重复的处理条件。