二手 APSYSTEM Korona 1200+ #9270686 待售

APSYSTEM Korona 1200+是一种快速热处理器（RTP）,旨在使许多薄膜应用中的吞吐量最大化。该设备采用了先进的过程控制技术，使其能够针对可重复性和效率进行优化。RTP利用最新的石英敏感器技术,能够处理高达1100 °C的温度。Korona 1200+最适合处理小批量、可变基板和困难材料，同时保持卓越的吞吐量和可重复性。RTP利用基于CMOS的控制器和纯硬化软件算法,允许在设定点的+/-2°C范围内进行严格的温度控制。控制器中先进的PID算法使过程得以稳定和调谐以获得最佳效率，进一步提高了系统的吞吐量。控制器还提供了实时监控过程以及跟踪历史趋势以进行分析和调试的方便功能。该装置的设计具有紧凑的占地面积和坚固的结构，可方便地融入现有的半导体装置以及空间受限的实验室设置。闭环冷却循环有助于更有效地散热，同时仍然保持RTP操作所必需的精确温度控制。一般APSYSTEM Korona 1200+在晶圆级处理和複杂的薄膜製程步骤方面表现出色。它在温度范围上的灵活性、快速的周转时间以及VOC的合规性，使其成为多种多样研发和生产环境中的热门选择。该机还提供多种工艺选择，包括快速热编程退火、氧化、氮化、杂质退火和金属化/沉积。总之,Korona 1200+是一款功能强大的快速热处理器,可为众多薄膜应用程序提供高效且可重复的处理。其强大的功能集，加上先进的软件算法，使得解决方桉能够可靠地处理具有卓越吞吐量的热敏基板。