二手 APSYSTEM Korona 1200+ #9270851 待售

APSYSTEM Korona 1200+是一种快速热处理器,专为晶圆和基板在各种应用中的热处理而设计。这种功能强大的设备提供卓越的过程控制、快速的循环时间、高温度精度、低热循环和极低的热超调,从而产生高度可重复的结果。该系统由强大的快速热处理器室、快速热控制单元和多种控制/传感系统组成。快速热处理器室在高真空条件下运行，提供清洁、高可重复的热环境。该腔室由八个热区段加热，使用氮气或氙气快速加热和冷却底物，燃料效率高。精密温度控制单元结合了先进的控制算法和晶圆周围的温度传感器，以保持晶圆上的均匀温度。车载控制/传感系统提供了一个操作员接口，用于编程和监测温度曲线。使用Korona 1200+的图形用户界面，操作员可以实时监控温度信息，并可以从存储的配方中访问测量和存储的热数据。实时温度数据可用于检查热循环的准确性或揭示非操作条件。APSYSTEM Korona 1200+结构精密，配有电隔离加热元件和集成微电子控制机器，以便在各种基板尺寸和厚度范围内提供高度精确的热循环。精确的温度控制保证了热处理过程中所需的效果。Korona 1200+旨在为各种生产需求提供快速的热处理能力。其先进的控制和监控系统、卓越的过程控制、精确的温度控制以及快速的循环时间，使其成为需要一致、可重复结果的操作的热门选择。