二手 APSYSTEM KORONA-1200P #293610309 待售

APSYSTEM KORONA-1200P是一种最先进的快速热处理器（RTP）,设计用于在工业环境中处理半导体晶片。KORONA-1200P采用精密陶瓷加热元件，温度可达1200 °C，提供最佳性能和热精度。APSYSTEM KORONA-1200P配备了先进的安全功能和数字过程控制,用户可以在每个热循环期间精确监控和调整温度曲线。KORONA-1200P有一个由高级钢和铝合金制成的双层隔热室。该腔室设计为在内部提供均匀的温度和压力均衡，使其能够以最小的温度梯度实现高温过程。该室还采用强制空气冷却设备，以确保循环之间快速恢复温度并最大限度地提高吞吐量。APSYSTEM KORONA-1200P还包括一个紧凑的过程气体输送系统，以最佳的气体注入反应室。该装置包括一个可手动调节的工艺气体流速、一个内置质量流量计和一个防止颗粒物污染的过滤系统。机器提供了准确和可重复的过程条件，使用户能够精确控制室内发生的化学反应。KORONA-1200P的用户界面旨在提供直观的操作和参数调整。用户对腔室温度和压力、过程气体流量和过程定时有完全的控制。用户还可以使用腔室配置软件来调整每个过程的温度轮廓，让用户最大限度地提高可重复性和屈服度。综上所述,APSYSTEM KORONA-1200P是一种工业级RTP,旨在提供无与伦比的性能和全过程控制。其腔室配置软件、精密工程陶瓷加热元件以及数控工艺参数，使用户能够以一致、可重复的高性能结果处理晶片。