二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9270852 待售

APSYSTEM KORONA-1200P是一种快速热处理器,旨在为各种不同的材料和基板提供高度精确的热处理。KORONA-1200P主要用于半导体工业，是一种经济高效的解决方桉，用于处理许多小基板。APSYSTEM KORONA-1200P能够在整个基板上产生优越的表面均匀性,在典型加工过程中热点偏差小于2%。它使用气体催化的积液源快速加热高达1200摄氏度的底物，并在几秒钟内将它们冷却下来。由于使用了专利的热控系统，它被设计成能够以高精度的快速加热温度剖面运行。KORONA-1200P具有多种灵活、精确的控制功能。它具有可变功率输入来调节热速率，以及可编程的气流以将精确数量的材料输送到基板上以实现精确的均匀性。这样可以在广泛的温度范围内实现过程的一致性。此外,处理器还配备了绝对压力和温度监控功能,以确保每个过程的结果都相同。APSYSTEM KORONA-1200P还配备了保护用户和设备的安全功能。它具有一个热限制系统,可防止过热,并且在检测到危险温度时自动关闭处理器。处理器还具有光学互锁,需要在操作过程中佩戴安全眼镜。KORONA-1200P为快速热处理提供了可靠的解决方桉,非常适合各种应用。它能够产生高度均匀的表面，具有极好的可重复性，同时还具有针对不同基板和工艺进行调整的灵活性。这使得它成为半导体加工的理想解决方桉。