二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9311066 待售

APSYSTEM KORONA-1200P是一种最先进的快速热处理器,是用于对半导体器件和材料进行可靠热处理的高生产率制造工具。该处理器为快速退火、扩散和氧化过程提供了卓越的性能。KORONA-1200P提供了良好的温度均匀性和控制整个腔室改进的过程结果。它利用红外灯和热电冷却器的快速加热/冷却设备，导致温度斜坡速率高达60°C/秒，温度调节± 2oC。坚固的等离子体碳氢化合物沉积离子源提供快速退火/扩散/氧化和其他过程控制，稳定的高性能结果。该系统提供一个自动气体输送装置，用于精确输送加工气体，以及一个用于干火的综合炉。集成CVD机包括氮氧（N2O2）和标准废气水洗涤器，为清洁安全运行。此外，它还包括一个集成直流电源、真空紫外线光电探测器（VUV）和石英晶体微平衡（QCM），用于精确的过程控制。APSYSTEM KORONA-1200P有一个可编程控制器，带有菜单操作的输入，允许操作员独立设置过程参数和启动。它提供模块化设计,包括用户可调节的组件和灵活的自动化选项,包括机器人技术和过程监控。处理器为实验室和研发应用程序提供了理想的学习解决方桉。它的高级软件解决方桉和远程控制功能使用户能够从远程位置运行、监视和管理其流程参数。KORONA-1200P是一种强大、先进和可靠的快速热处理工具。它是快速、经济高效地生产高质量、可靠的微电子产品的最佳解决方桉。