二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9314987 待售

APSYSTEM KORONA-1200P是一种创新的快速热处理器（RTP），最高处理温度为1200 °C。这种高科技设备设计用于生产晶片、光刻胶和电介质的高效、均匀加热。具有± 2°C的卓越温度均匀性,KORONA-1200P确保对时间和温度的精确控制。APSYSTEM KORONA-1200P的标准腔室尺寸为150 x 150 mm,可选的大腔室尺寸为200 x 200 mm,能够容纳各种基板。它与多种氟碳气体化学物质兼容，可以编程为自动操作。其宽敞的工作室和高效的对流冷却系统，使其成为加工直径达5英寸的晶片的理想之选。此外，KORONA-1200P还设有一个令人印象深刻的4个坡道，最多可调节8段温度。它能够快速加热/冷却时间,确保快速、一致的完美结果。它具有多种有用设置的直观用户界面,使用户能够轻松调整热配置文件以优化流程。APSYSTEM KORONA-1200P还具有先进的安全功能以防止污染。一个集成的低泄漏金属密封单元将腔室与环境隔离开来，将环境污染物拒之门外。本机核心采用石英和传热板的组合设计，提供卓越的温度均匀性和工艺均匀性。总体而言,KORONA-1200P是一种可靠的快速热处理器,旨在为晶圆处理提供出色的温度均匀性和精确控制。快速加热/冷却时间、高温能力和直观的用户界面相结合，使其成为研究半导体晶片的研究人员的理想选择。