二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9315110 待售

APSYSTEM KORONA-1200P快速热处理器（RTP）是一种先进的低成本热效率设备,专为可重复的高温过程和退火而设计。KORONA-1200P独特的专利化光束成形方式使系统的热均匀性达到传统管式系统的两倍以上。采用APSYSTEM KORONA-1200P独有的三级主动冷却方法，从室温到1200 °C可以实现各种温度剖面。它还能够在广泛的温度和时间尺度上快速提供受控热能。通过选择手动电梯或可选的机器人转运单元，可以方便地装卸腔室。KORONA机器设计用于可重复的生产运行，可与大多数类型的热处理工具软件和硬件一起使用。为生产运行或单件操作提供了标准的颗粒进料箱和高强度的Crucibles。KORONA-1200P还具有可靠的诊断和安全功能,例如可编程安全联锁、过流保护、驱动器保护和低气压安全关闭,这有助于确保可重复和可靠的操作。此外,其创新的主动冷却功能提高了热均匀度,最大限度地提高了产量并减少了TC/TW不匹配。APSYSTEM KORONA-1200P的闭环过程控制允许精确控制负载温度并导致过程可重复性在0.1°C以内,过程可重复性在10%以内。此外，该工具的"点到点"粗温度控制提高工艺速度和气体效率。KORONA-1200P是寻求可重复、准确、快速和可靠热处理的人的完美解决方桉。其紧凑的设计、高效的热性能和快速的冷却技术提供了亚微米的热均匀性，确保了最高的产量和最低的循环时间。