二手 APSYSTEM KORONA-1200P #9315112 待售

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9315112
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Metal RTN system, 12" 2010 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P是一种快速热处理器,旨在精确快速地加热和冷却各种基板。凭借其快速加热和冷却能力,KORONA-1200P可用于退火薄膜晶体管以及其他结构,以利于先进的集成电路制造。APSYSTEM KORONA-1200P是一种分体式脉冲快速热处理器,意味着它由两个独立的腔室组成:工艺腔室和预热腔室。两个室都是独立控制的,允许同时处理两个样品。工艺室结合了双区加热,意味着腔内的不同位置可以在温度上独立控制。这允许样品内不同区域的加热和冷却,导致均匀的温度分布。预热室采用对流加热,采用双区透射红外灯系数,以实现快速、均匀的加热。通过对流加热和红外加热系统的结合,KORONA-1200P能够快速、均匀地处理样品。APSYSTEM KORONA-1200P加热范围为100至1100 °C,冷却速率高达250°C/s,可用于快速加热和冷却样品。此外,处理器能够快速处理样品,而无需频繁重新校准,从而降低了样品降解的风险。KORONA-1200P是一个多功能的快速热处理器,旨在促进先进的集成电路制造。凭借双区加热和对流加热能力,处理器能够精确快速地退火薄膜晶体管等结构。处理器还提供快速加热和冷却功能,以及高达1000 °C的加热范围。此外,处理器能够以最小的校准要求处理样品,从而能够用于高通量应用程序。APSYSTEM KORONA-1200P具有多功能性和准确性,是任何集成电路制造的理想选择。
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