二手 APSYSTEM KORONA-12SP #293610720 待售

APSYSTEM KORONA-12SP是一种快速热处理器（RTP），专为半导体晶片的工艺改进而设计，确保实现半导体器件生产的最高质量。KORONA-12SP有两个独立控制的腔室，每个腔室都具有精确的温度、压力和通过接触晶片传递热量的均匀性。位于APSYSTEM KORONA-12SP中心的专门加热系统旨在通过处理所有主要的热参数，包括每个腔室的热功率以及温度和能量净空，提供精确的热平衡。这种精确的热平衡保证了过程的稳定性，它具有较高的芯片产量和改进的设备性能，更一致，高质量的设备。这种稳定的温度测量还可以确保随着时间的推移获得精确、可重复的结果。精确的过程控制通过使用固态传感器进行管理，固态传感器可以测量和监控一系列参数。这包括监视每个腔室内和晶圆本身的温度的能力。这些数据是实时收集的，可用于快速调整热参数，确保可重复和可重复的过程结果。此外,还可以将KORONA-12SP配置为可容纳25毫米至200毫米大小的晶圆。这与系统坚固的传热能力相结合,可确保在一系列晶圆尺寸上达到最佳的热均匀性。APSYSTEM KORONA-12SP还具有处理包括硅、有机材料和其他基板在内的一系列材料的能力。KORONA-12SP是一种先进的RTP解决方桉，它为提高半导体晶圆工艺性能提供了精确的热环境。其精确的热均匀性，加上其车载监控系统提供的详细工艺控制，有助于确保高质量的设备生产，并具有一致的、可重复的结果。