二手 APSYSTEM KORONA-12SP #293666860 待售

APSYSTEM KORONA-12SP是一种用于快速热处理各种半导体晶片的快速热处理器（RTP）。它使用先进的直接加热技术，利用快速加速度在毫秒内达到样品的峰值温度。处理器具有内置化学气相沉积（CVD）管和直接加热阴极，允许用户统一加热整个晶片表面。KORONA-12SP本身是风冷的，这意味着不能使用液体来冷却晶圆。机器配备了多喷射工艺模块，使处理器能够快速、精确地改变晶圆的环境。通过改变模块内的压力、气流和温度，用户能够控制样品上的扩散或沉积速率。APSYSTEM KORONA-12SP还配备了先进的微波加热门锁。该锁存器用于在处理过程中牢固地固定晶片,防止晶片在旋转过程中滑动。锁存器还包含一个内置的加热元件，在处理过程中不需要单独的热源。为确保精确的温度控制，KORONA-12SP配备了先进的红外温度感应设备。该系统监控晶片的温度，根据需要调整热量输出。APSYSTEM KORONA-12SP还配备了高质量的安全单元。处理器装有警告警报,当温度接近设定阈值时,警告用户。此外,还有各种锁和捕获物,以确保样品在操作过程中安全。总体而言，KORONA-12SP是一种可靠、高效的处理器，旨在快速处理各种半导体晶片。其内置的化学气相沉积管、直接加热阴极、多喷射工艺模块、微波加热锁存器、红外温度传感机，可实现精确准确的热处理，确保了最佳效果。此外,其安全机制可确保处理器始终安全运行。