二手AXCELIS / FUSION(快速退火/快速热处理)待售

Axcelis是半导体行业的着名制造商，专门生产快速热处理器（RTP）。它们的聚变系列RTP系统提供了先进的温度控制和过程均匀性，确保了各种半导体制造过程的精确加热和冷却周期。Axcelis的RTP比传统的处理方法有几个优点。首先，它们提供快速的热退火，提供比传统炉更快、更准确的高温。此功能大大缩短了周期时间,并提高了总体工作效率。此外,Axcelis的Fusion RTP具有卓越的工艺灵活性,非常适合广泛的应用,包括掺杂剂活化、硅化物形成和氧化物生长。Axcelis的Fusion RTP系统的一些显着例子包括Integra RS、800S和Summit 200。Integra RS是一个多功能系统,提供正面和背面加热功能,确保最佳均匀性。该800S是一款以出色的温度控制和低能耗而闻名的高性能RTP。最后，Summit 200专为超浅结形成而设计，提供卓越的工艺重复性。总体而言,Axcelis的Fusion RTP为半导体制造商提供了精确高效的热处理解决方桉,从而提高了设备性能和产量。