二手 AXCELIS Summit 300XT #9359564 待售

AXCELIS Summit 300XT是一种快速热处理器,旨在为各种应用程序提供高效、精确的热处理。该设备采用干空间退火和高温共燃的优化工艺。它采用带状辐射灯和循环气流的双区热板，以减少热预算和提高温度均匀性。一系列可选的远程温度传感器允许用户监视温度以准确控制处理条件。处理器具有增强的安全功能,包括互锁系统和温度传感器,可保护人员免受热室的伤害。独特的循环气流装置有助于保持腔室内的均匀温度，使热预算减少50%。这有助于减少加工产品所需的时间。该处理器专为半导体退火、掺杂剂扩散和氧化物热氧化等应用而设计。也适用于非常小面积样品的钝化、合金化和重结晶。该机结合了动态气体控制工具，使用户能够精确调整炉膛气氛以满足工艺要求。活跃的固定气体资产保证了气流的均匀分布。Summit 300XT旨在提供卓越的吞吐量和可靠性。该模型独特的小占地面积使其非常适合支持研发和生产设施中的多过程功能。该设备具有创新的集成控制器，包括一系列传感器和安全选项，有助于最大限度地提高效率和最大限度地提高工艺可靠性。AXCELIS Summit 300XT是一个理想的解决方桉,适用于一系列需要高温和狭小空间的应用。它为热处理需求提供了更高的安全性、更高的效率、更高的吞吐量和精度。