二手 AXCELIS Summit 300XT #9362104 待售
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ID: 9362104
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: Oxide, Anneal
CIM: SECS GEM
(2) Transfer loadlocks / Cooling stations
Mini environment
(2) Furnace process modules
Transfer chamber
(2) GENMARK Wafer handlers
Factory interface: (3) FOUPs
Load port non-functional
2001 vintage.
AXCELIS Summit 300XT是为生产基于晶圆的集成电路而设计的高性能快速热处理器。峰会300XT旨在改进集成电路晶片的制造工艺,同时大幅降低成本。AXCELIS Summit 300XT为高效、准确的热处理提供了多种功能。该加工室采用了最新的热效率绝缘材料,可以更快、更均匀地加热和冷却晶片。此外,腔室设计不需要额外的晶圆传输设备,使设备比传统生产系统更快、更可靠。快速热处理器还结合了多级加热和冷却系统,用于精确、均匀、可重复的热处理。Summit 300XT还具有精确的温度和气流控制功能,非常适合各种制造工艺。它可以很容易地集成到现有的生产系统中,从而可以立即提高生产率。为方便起见,该设备具有远程访问功能,允许操作员从远程位置监视和调整操作。AXCELIS Summit 300XT还拥有先进的安全功能,以确保安全可靠的操作。该机器包括紧急关闭装置,以防止温度过高或气压过大,以及先进的监控和诊断系统,使操作员能够快速准确地排除任何问题。最后,Summit 300XT是一款前沿的快速散热处理器,旨在改善集成电路的生产过程,同时降低总体成本。该工具具有高级功能,如均匀且可重复的热处理、精确的温度和气流控制以及紧急关闭。此外,该资产可以轻松集成到现有的生产系统中,并具有远程访问功能,以增加便利性。
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