二手 AXCELIS Summit #9298675 待售

AXCELIS Summit
ID: 9298675
晶圆大小: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12".
AXCELIS Summit是一种快速热处理设备,旨在使工程师和科学家能够在各种过程中有效和准确地控制温度和时间。该系统配备了LED触摸屏、主动PID(Proportional-Integral-Derivative)控制、最新一代AST(Advanced Sensing Technologies)热技术等先进功能。该技术提供了一个无与伦比的过程控制单元,能够在各种过程中快速、准确地自动检测和控制热层参数。Summit的LED触摸屏允许各种处理功能的快速轻松编程,用户友好的界面允许用户快速输入命令和查看结果。Active PID control machine允许用户在过程中精确调整基板温度。该工具最大限度地提高了在温度是关键因素的基板上发生的各种过程的效率,包括制造沉积的快速倾斜、快速热退火、杂质引入、薄膜形成和致密化。AXCELIS Summit的先进传感技术还设计用于同时探测和控制多层材料中的热层。这消除了猜测,使过程参数的监测和控制比以往任何时候都更加容易和精确。Summit中的高级传感器还提供了工艺参数的完整实时反馈,让用户对工艺前后的基板条件有了更多的了解。此外,AXCELIS Summit还设计了多种高级控件,允许用户在给定过程中动态控制各种参数。用户还可以根据给定流程的需要自定义流程变量,从而可以微调流程参数。这些控件还允许用户根据需要快速修改流程参数,以确保实现所需的结果。Summit是一种先进的快速热处理资产,非常适合控制过程的温度和时序。AXCELIS Summit直观的用户界面和先进的控制功能使其成为需要精确控制温度和时序的用户的完美工具。灵活的控制功能还允许用户轻松定制流程参数,确保实现最佳流程结果。
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