二手 AXCELIS Summit #9359567 待售

AXCELIS Summit是快速热处理器（RTP）。它是半导体工业中为电子器件加工设计的高通量热工具。Summit是目前最可靠、最有效的快速热处理器。AXCELIS Summit提供了卓越的散热性能、均匀性和准确性的组合,这对于具有最高控制级别的设备制造至关重要。Summit具有两个独立的双区室，每个室提供独立的加热和控制功能，以实现最佳的温度均匀性和处理精度。AXCELIS Summit的工艺室具有创新的间接加热元件系统，在其整个区域内均匀分配能量，确保对晶圆加热轮廓的精确控制。先进的温度传感和控制技术提供了卓越的轮廓精度和较高的腔室温度为优越的设备性能。萨米特的双区供热系统利用独特的直接/间接供热技术，提供卓越的温度均匀性和稳定、可预测的温度分布。单区RTP提供一组由独立、独立、可编程控制器控制的辐射加热元件。这种双区RTP提供两个辐射加热元件，每个元件都有自己的专用控制器，因此各区的温度轮廓和均匀性可以独立调整。AXCELIS Summit是高度可定制和可配置的,以满足几乎所有晶圆处理应用程序的需求。它支持许多不同的过程，包括标准和高级高温配方。温度控制具有多功能性和灵活性,仅受应用程序限制。Summit的众多选项包括远程配方选择、高级控制算法、自动配方感应硬件验证、旋转能力、背面加热、多个晶片卡带配置以及每个加热器区域的独立闭环温度控制。AXCELIS Summit的用户友好界面允许高度精确的温度控制，并且不需要复杂的计算来修改配方。其直观的图形用户界面（GUI）允许用户以最小的调整轻松高效地控制RTP。Summit是单晶圆处理的可靠、高性能、经济高效的解决方桉。它提供卓越的热性能和均匀性，以确保最高级别的设备产量和性能。对于那些需要高效、可靠和准确的单晶圆处理解决方桉的人来说,这是一个理想的选择。