二手 BOC EDWARDS Helios 1 #9203075 待售

BOC EDWARDS Helios 1 Rapid Thermal Processor是为现代半导体器件的高精度处理而设计的通用、可靠和高效的热系统。它能够快速热处理高达1,200 °C，最大斜坡速率高达300 °C/秒。通过利用其高速坡道,系统能够显着减少热循环时间,从而加快过程步骤之间的周转时间。Helios 1配备了超快拍打的石英敏感器，尺寸从500毫米到150毫米不等。它采用独立控制和加热的不同区域进行设计，允许精确的温度剖析，以便更好地控制过程。BOC EDWARDS Helios 1在其工艺室中提供了卓越的统一性,以实现每个工艺的可重复结果。此外，它还具有可定制的退火和扩散轮廓，并且可以配备铃铛、继电器等配件，使预热和冷却阶段等先进能力得以实现。Helios 1设计具有先进的运动控制和更轻松的维护功能。它配备了一个Auto-load/Unload tile，以减少手动加载和卸载时间，并且它包括软件，使用户能够轻松安排、监控和调整热过程。它还提供了增强的数据收集能力，从而加强了对热过程的监测和控制。BOC EDWARDS Helios 1是一个可靠高效的快速热处理系统,它提供显着更快的热斜坡速率、出色的热均匀性和可定制的轮廓,以实现高精度结果。加上其Auto-load/Unload瓷砖和自动加热器的更换，Helios 1是现代半导体加工的宝贵工具。