二手 BOC EDWARDS Helios-S #9203025 待售

中银爱德华兹太阳神-S是一款灵活、高性能的快速热处理器（RTP），旨在提高半导体工艺的性能。它能够快速、统一地执行一系列安全过程。它在整个晶片上提供比± 1°C更好的温度均匀性,提供可靠且经济高效的性能。Helios-S专为小规模研究应用和大批量生产而设计。它允许在25至1200°C的范围内进行精确的热处理。它具有极好的温度均匀性、均匀的大气和卓越的稳定性，能够改善过程的一致性和可重复性。它使用常规快速热退火（RTA）工艺的高级变体,允许高通量制造工艺。处理器具有快速上升和下降的速率,允许温度的均匀和快速变化。这样可以提高精度和均匀性,从而实现更好的设备性能和更小的模具尺寸。中银爱德华兹太阳神-S包括垂直和水平管配置，以适应各种工艺要求。它还支持高达300 mm晶片的单面和多面处理。它利用传统的溷合气体输送设备提供所需的工艺和惰性气体流动。Helios-S利用定制设计的自动化控制系统,该系统可与多个处理器联网,允许灵活的流程参数。此外,该单元还包括用于高频设备表征工具的控制功能,从而提高了流程性能。BOC EDWARDS Helios-S设计方便可靠操作。它利用用户友好的软件，允许用户快速配置和操作机器。它提供方便的数据记录功能,允许用户更改设置点并远程查看日志值。此外,处理器还包括内置的过程控制和设备验证功能,可确保可重复的性能。总之,Helios-S是一款先进的快速散热处理器,能够在不同温度范围内进行安全和高通量处理。它具有极好的温度均匀性、均匀的大气层和卓越的稳定性，为均匀的温度曲线提供了更好的工艺一致性和可重复性。此外，它还具有方便的自动化控制工具和方便用户的软件，方便可靠的操作。