二手 BOC EDWARDS Helios-S #9203027 待售

中银爱德华兹太阳神-S是一款快速热处理器，设计用于半导体行业。它是当今市场上最先进的快速热处理（RTP）系统之一,非常适合用于需要精确温度控制和均匀热分布的应用。Helias-S使用先进的控制软件，确保在每个周期中都有精确的温度控制。它每个周期最多可提供三个温度设定点，并可以使用其内置的PID控制器精确监控30℃至1250℃的温度。设备还配备了两个晶闸管传感系统和多通道输出，用于热测绘。此外,它还具有一系列安全功能,可防止发生危险的过热情况。其中包括过温和过流自动切断装置等。机器由两个部件组成；主室和加热工具。主室由石英壁构成，共有四个加热区和一个集成气体输送资产。加热模型由三个密封的卤素灯盒组成，在腔内均匀散热。这样可以确保整个基板表面的温度均匀。设备先进的可编程性和热剖面范围意味着它可以用于氧化、扩散、沉积、蚀刻和植入等过程。此外,随附的扫描系统允许精确对齐,以确保进程准确地发生在您想要的位置。总而言之,BOC EDWARDS Helios-S是一款功能强大且精确的快速散热处理器。它提供了前所未有的温度控制、均匀的散热和缩短的循环时间，使其成为寻求生产高质量和高性能半导体器件的公司的理想选择。