二手 BOC EDWARDS Helios #168833 待售

中银爱德华兹太阳神是中银爱德华兹制造的快速热处理器（RTP），真空系统、消减和半导体制造的技术领导者。Helios RTP是专门设计用于生产半导体器件的高性能并联晶片处理设备。BOC EDWARDS Helios RTP提供了一个单一的自动化解决方桉,用于各种处理操作,包括热氧硝化、退火、扩散和蚀刻。它能够在直径达八英寸的时间内处理多达十六个晶圆，晶圆总负载为六十八个晶圆。Helios RTP采用模块化设计,具有扩展功能,使制造商能够灵活地配置其系统以满足其生产需求。该单元有五个独立模块，每个模块都有自己的控制器，以提供统一、可重复、可靠的性能。E-Cenury Automation Machine控制、监视和管理处理操作,以提供一致和可靠的结果,而无需手动调整或频繁修改程序。E-Cenury自动化工具还与工厂自动化和过程监控系统（如全工厂和企业资源管理（ERP）软件）集成,以确保与现有生产系统的兼容性。晶圆穿梭通过确保不间断的实时过程控制最大限度地提高效率。这样可以显着减少装载和卸载批次所需的开销时间,这意味着生产周期更加高效和经济高效。BOC EDWARDS Helios RTP非常适合在半导体生产过程中寻求高吞吐量、精确控制和最大灵活性的制造商。Helios RTP具有模块化设计、统一的处理性能、集成的软件和自动化操作,可提供可靠、可重复的结果,并最大限度地提高工作效率。