二手 BOC EDWARDS Helios #9096427 待售

BOC EDWARDS Helios是一种先进的快速热处理器（RTP）,它能够使诸如硅化、掺杂剂活化、缺陷愈合、金属化和结晶等热退火过程易于并入半导体器件制造中。Helios热处理设备采用大功率灯和气体驱动加热器的组合，可配置为提供高达1200 °C的温度。其严格控制的加热能力是一系列工艺应用的理想选择，包括退火、重结晶、硬化和模式化退火。BOC EDWARDS Helios采用双控制区和专利掺杂YAG散热器方桉设计。这样可以实现高度的灵活性和电源控制,允许用户在进程之间快速切换,同时保持高度的保真度和均匀性处理。Helios还包括功能强大的图形用户界面（GUI）控制器,可实现高效的操作和改进的流程可见性。该系统包括各种监控工具，如集成红外摄像头，通过其分析软件监控流程参数和机器性能，为用户提供对流程的实时可见性。此外,BOC EDWARDS Helios还提供多种控制方桉来精确管理热过程,同时实现高吞吐量。这包括开环控制、手动控制和全自动配方驱动控制。Helios还配备了高规格的N2净化装置,无需储存大量的氮,以及用于配方制造和管理的Micro ESC反应器。这有助于确保将任何与工艺相关的材料快速准确地输入到工具中。BOC EDWARDS Helios快速热处理器非常适合大多数需要快速、精确热处理的应用。凭借灵活的配置、强大的控制系统和直观的软件,Helios允许用户最大化设备性能,同时最大限度地减少流程时间和成本。