二手 BOC EDWARDS Helios #9203029 待售

BOC EDWARDS Helios是一款先进的快速热处理器,专为半导体材料的快速高效热退火而设计。该装置是金属、氧化物和化合物在高温和腐蚀性化学品等恶劣环境中晶圆加工的理想工具。该系统在石英管炉（QTF）中采用先进的低氧环境，使退火过程能够在非常短的时间内完成，通常在几分钟内完成。Helios快速散热处理器提供了从96mm到200 mm的灵活腔室尺寸,以及严格控制的环境参数,可对各种精细半导体材料进行精确退火。它有两个石英管；内部石英管用于样品的雾化，防止颗粒物积聚，而外部石英管作为绝缘体，保持室内温度和环境稳定。快速热处理器还具有一些先进的安全功能,如自动阀门关闭和排气,以及压力控制密封,可降低意外过热和暴露于危险溶剂的风险。此外，其宽广的温度范围使得各种半导体材料能够退火，而材料降解的风险最小。BOC EDWARDS Helios快速热处理器还具有先进的SPS（基板保护系统）功能,它允许在基板在工艺室内时绝对控制温度。这样可以确保退火过程以最小的热波动完成，并且基材的温度保持尽可能一致。此外,其PID（可编程强度位移）允许通过随时间调整温度来微调退火过程,以创建最佳的温度曲线。总体而言,Helios是一款先进的快速散热处理器,为各种精细半导体材料提供快速、高效和安全的退火工艺。其灵活的腔室尺寸、精确的环境控制以及先进的安全特性，使其成为各种工艺的可靠高效的工具。