二手 BOC EDWARDS Helios #9203031 待售

BOC EDWARDS Helios是一款快速热处理器，设计用于半导体、光电、光伏、太阳能电池、复合材料和医疗设备行业的研究、开发和生产应用中基板的快速、可重复处理。它在一系列基材上提供快速的热退火、固化和其他材料加工溶液。它可以与各种沉积工具结合使用，如溅射离子镀层和有机化学气相沉积（oCVD）进行工艺优化。Helios有两个标准的加热输入室，有可选的第三室和第四室，用于多室系统。它最多可同时处理四个样品，最高温度为1000 °C，具体取决于应用。这些腔室的直径可达20mm，高度可达10mm。会议厅内的样本持有者提供了一定程度的灵活性，提高了结果的可重复性。中银爱德华兹太阳神的工艺控制非常精密。它具有先进的PID控制系统,可在50°C至1000°C的温度范围内进行精确的温度控制。它还具有高级可编程斜坡速率控制功能,允许用户在垂直轴上创建预定义的斜坡速率,以获得一致的过程结果。加热器是固态的，具有用于精确控制的传感器阵列和用于网络集成的强大数字通信链路。Helios对工艺室环境和工艺参数拥有全面控制，使用户能够精确控制温度、氧气控制大气、压力和真空等热工艺参数。控制系统还提供控制气体流动和监测浓度的能力，这些浓度可以设置为适合于介电和其他材料沉积的水平。BOC EDWARDS Helios具有符合行业安全标准的良好安全特性。它有温度和减压阀，过温防护切口和防爆外壳。它还具有可编程的时间延迟和各种可以设置的安全设置，以便符合当地的安全法规。Helios还提供了一个用户友好的图形用户界面（GUI），便于设置和操作。总体而言,BOC EDWARDS Helios是一款先进且高度灵活的快速热处理器,能够在各种基板上进行各种热处理。它具有良好的工艺控制技术，可实现精确的温度和工艺参数控制，以及全面的安全系统。它可以与其他流程工具结合使用，以优化流程并确保可重复、一致的结果。