二手 CENTROTHERM RTA 150 #9239213 待售

ID: 9239213
晶圆大小: 6"
优质的: 2007
System, 6" Heating power: 50 kW Max process temperature: 1200°C Max ramp rate: 150 K/s Temperature accuracy: ±0.5 K Processing gases: N2, N2H2 Heating system: (24) Lamps, PWM Pressure controlled vacuum / Atmospheric LEYBOLD HERAEUS Dura Dry 105 Vacuum pump Applications: Annealing Dopant activation Dry oxidation Metal contact anneal Barrier metal anneal 2007 vintage.
CENTROTHERM RTA 150是一款快速热处理器,由总部位于德国的科技公司Centrotec Sustainable AG制造。它是半导体和电子制造商用于热处理的可靠、高效和强大的工具。该设备旨在为各种基材和材料提供快速、精确和均匀的热处理。RTA 150能够在几秒钟内加热、冷却和固化热过程。它采用专利冷却技术,将基板冷却速度高达每秒24°C。这种快速冷却技术确保了一致、可重复和统一的结果。该系统配备了一个快速的热处理器,允许快速的温度转换和精确再现预先设定的温度轮廓。通用的CENTROTHERM RTA 150提供一流的温度均匀性,在整个过程中平均最高温度± 1°C。这使得该单元成为现代、具有挑战性的过程的理想之选,如铜柱碰撞、超薄模具连接、芯片规模封装翻转芯片组装过程。该机器带有几个内置的安全功能,包括压力传感器和安全联锁来保护基板,以及温度和气体监测。RTA 150还有一个用户友好界面,允许远程监视和控制操作,以及数据记录和审查。CENTROTHERM RTA 150是一款先进的快速热处理器,旨在满足当今半导体和电子制造业的需求。其快速的热传递能力使其成为高级流程的理想选择,而其非统一性和安全性特性确保了一致、可靠的结果。
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