二手 DNS / DAINIPPON LA-820 #9148527 待售

DNS/DAINIPPON LA-820是一种快速热处理器（RTP）,用于为基板或晶片提供热处理,以创建所需的电气、光学和机械性能。RTP采用加热元件、气体控制系统和真空技术的组合，对基板进行均匀的热处理，同时确保室内外的热量损失或辐射最小。DNS LA820具有两个独立操作的腔室,非常适合在不同阶段需要不同温度的工艺。由于每个腔室都是独立操作的，它允许更快的循环时间、更少的维护成本和更少的过程之间的污染。它还有一个温度控制系统，可以精确控制每个腔室的温度。RTP具有高精度的高温计，可连续独立地测量每个腔室的基板温度。这样可以确保在过程中保持精确的温度设置。高温计可以测量高达900 °C的温度。腔室之间的温度均匀性也在± 1 °C以内。DAINIPPON LA 820还具有快速循环时间,可将能源成本降至最低。它的气流控制器允许对每个腔室进行独立的气流控制。这提供了准确的气体控制，确保可靠的等待温度测量。RTP的总循环时间通常为10秒,具体取决于基板尺寸、温度分布和所使用的气体。除了气体控制，LA 820还有一个主动真空系统，包含一个集成的螺旋涡轮泵和一个粗加工泵。这样就不需要外部泵和防止过程之间的污染。集成真空系统还为氧化或氮化等过程提供了受控气氛。总体而言,DNS/DAINIPPON LA 820是一种高效的快速热处理器,可为基板和晶片提供高精度、高温热处理。它提供了快速的循环时间和精确的温度控制，同时也提供了可靠的气体控制和受控的大气。