二手 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198238 待售

DNS/DAINIPPON LA-820快速热处理器是一种最先进的设备,用于实现快速热处理（RTP）的温度循环。该装置通常用于制造具有超短热过程的集成电路（ICs）。这使处理器能够在精细的步骤中进行分析,其精确的温度控制和高精度可防止有害的热损坏。DNS LA820由包括腔室在内的主体、滚筒式对流（RTC）机构和快速热加热冷却技术组成。滚筒式对流用于产生均匀的温度分布，并将热量传递到腔室内部进行RTP。为了保证温度的精确控制，加热和冷却源的输出功率由车载电源监控系统和用户界面管理。此外，基于温度的室内实时温度测量可以在每个热过程步骤中进行精确的温度控制。DAINIPPON LA 820的其他特性包括从室温到1050°C的宽广温度范围、高达± 3°C的均匀温度分布以及实时测量温度的中红外光源。此外,1,200 °C/s的最大加热和冷却速度可促进RTP过程。DAINIPPON LA820快速热处理器的优点包括性价比高、均匀性高、操作简单。该装置适用于半导体制造、太阳能电池生产等RTP应用。此外,该设备最多可配置五个加热和冷却区域,从而允许在大面积内进行均匀的热处理。此外,它的准确性消除了热应力,确保了设备的功能和可靠性。