二手 EATON NOVA / AXCELIS Reliance 850 #191216 待售

EATON NOVA / AXCELIS Reliance 850
ID: 191216
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Rapid thermal annealer, 8" 1997 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Reliance 850是一款先进的快速热处理器,专为半导体行业的高精度和高速热处理而设计。它是市场上最先进的技术,确保了卓越的重复性和无与伦比的精确度。AXCELIS Reliance 850为用户提供了最大限度的可靠热晶片处理控制,可以减少缺陷、改善底线和提高产量。EATON NOVA Reliance 850旨在提供精确一致的热处理,同时消除用户控制造成的错误。处理器利用控制算法连续监控实时应用,持续调整腔室温度,以补偿过程中可能发生的任何变化。此功能允许更可重复、更一致的结果和更少的缺陷。处理器还能够通过多种可定制的选项进行调整,以满足用户的确切规格要求。例如,可以将其设置为在一定温度范围内和处理时间范围内处理任何晶圆类型。这使得它成为复杂生产或关键流程的理想解决方桉。Reliance 850还提供了无与伦比的精度。它具有脉冲调制加热技术,使其能够快速准确地达到精确的温度。与传统的快速热处理器相比,它还具有更高的控制级别,可确保达到精确的温度并停留在那里,从而将误差降至最低。此外,处理器能够提供有关加热器或气体管路温度和实际晶圆温度的实时反馈,从而允许用户在必要时调整温度。EATON NOVA/AXCELIS Reliance 850也为用户带来无与伦比的性能。处理器允许快速热处理时间,降低热氧化物缺陷的风险,提高产量。此外,它还具有一个高级预测模型,该模型可以预测热过程每个步骤的最佳时间,从而允许比以往任何时候都快的过程时间。最后,AXCELIS Reliance 850附带了一整套工具,使系统能够充分发挥其潜力。这些工具包括热负荷建模、过程调整、加热器映射、气流优化和数据记录。利用所有这些功能,用户可以监控和调整流程,以具有竞争力的速度产生最高的质量水平。总体而言,EATON NOVA Reliance 850只是市场上最先进的快速散热处理器。它能够提供可靠、可重复和高度精确的处理结果,同时超越其前身的性能。有了这项技术,半导体产业可以继续推动进步的界限,优化其工艺,以达到最大效率。
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