二手 EATON NOVA / AXCELIS Summit XT #9095589 待售

EATON NOVA/AXCELIS Summit XT是一种快速热处理器,在600°C至800°C的温度下快速处理优质晶圆材料,如硅、​​、砷化氙和超晶格。它专为亚微米光刻应用而设计，允许金属层和其他材料的精确蚀刻和掺杂，用于晶圆的产生。AXCELIS Summit XT一次最多可以处理18个晶片，并且可以连续运行，使得可以在短时间内制造多个晶片。设备采用AXCELIS开发的感应加热技术，快速高效地加热晶片。该系统还配备了一个四区热壁烧烧器，称为脉冲星12，具有优化的电阻加热元件，允许精确的温度控制。EATON NOVA Summit XT提供高精度和重复性，以及热氧化和蚀刻的工艺窗口。它具有自动化的计算机控制过程步骤以及提高操作员安全性的自我诊断能力。该机还配备了先进的诊断，如数字温度概况和每区温度反馈。提供了一个实时配方数据库，允许预先编程的可重复进程。Summit XT提供了出色的工艺一致性和改进的工艺可重复性，特别是在处理多晶硅等难以加工的材料时。它是一个低维护单元,采用模块化组件和重复冗余功能设计,便于维修和维修。EATON NOVA/AXCELIS Summit XT包含许多标准功能，例如内部热电偶测温端口和提供机器实时自动操作的过程控制器。还包括详细的过程监控、自动安全锁定、安全控制继电器等。该工具还提供了氮气和氙气环境控制选项、自动气体关闭和远程关机连接。综上所述,AXCELIS Summit XT快速散热处理器是一项可靠、准确的资产,旨在以精确和可重复性快速处理晶片。它操作简单,提供多种工艺选项,并提供高级诊断和安全功能。