二手 KOREA VACUUM TECH KVR-4000 #293654709 待售

ID: 293654709
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
KOREA VACUUM TECH KVR-4000是一种革命性的快速热处理器(RTP),设计用于光电应用。利用独特的真空烤箱设计,该RTP单元提供了无与伦比的速度和精度为各种过程。KVR-4000能在2分钟内达到高达850°C的温度。KOREA VACUUM TECH KVR-4000具有高效率的真空设备,能够实现超低真空水平,对敏感材料进行精确处理。真空系统采用嵌入式涡轮泵进行快速排空,并采用专门的清洁气体电路进行污染控制。RTP还包含两个独立的温度区域,每个区域都有一个精确的温度控制器,能够以1°C的增量调制高达850°C的热量。这种获得专利的设计使用户能够将热过程控制到单一精度,这对于高度敏感的应用非常理想。KVR-4000还具有先进的热均匀性控制功能,包括对坡道和冷却速率进行微调,以达到最大真空渗透率。它还有一个先进的液体冷却装置,允许在腔室的所有区域快速和均匀的冷却,使整个基板的温度均匀性最大化。KOREA VACUUM TECH KVR-4000还提供多种安全功能,包括安全联锁开关和集成气体净化。这台机器能够安全、安全地处理潜在危险物质,使操作员安心。总体而言,KVR-4000是一款创新的快速热处理器(RTP),在处理光电设备时提供无与伦比的速度和精度。这一RTP单元让用户从敏感材料中获得最准确的结果,得益于其先进的温度控制和先进的热均匀性功能。它的真空工具、安全特性和液体冷却资产进一步使其成为以最高精度执行敏感过程的最佳选择。
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