二手 MATTSON 3000+ #9210952 待售

MATTSON 3000+是一款高性能快速热处理器设备（RTP）。它被设计用于利用快速热技术的先进和专门的半导体制造工艺。该系统基于一个并行热阵列，它向各种基板提供高达1000 W/cm的高度集中热能²。3000+还具有高度精确的温度控制单元,它能够在整个热过程中以±0.5℃的精度维持整个晶片的温度。这种精确度使得能够生产高质量的产品，并为先进的半导体器件提供卓越的工艺控制。并行热阵列通过特殊的阵列掩码聚焦，使输出精确匹配所需的工艺要求。MATTSON 3000+还提供高级功能,如集成过程监视和现场诊断。这样可以实时监控流程条件,确保流程在指定参数内最佳运行。这台机器还包括一个全面的软件包，允许完全的可编程性和控制工具的操作。3000+为执行从退火和烧结到材料的电阻和非电阻固化等一系列加工任务提供了一种高效、可靠和经济高效的方法。它减少了处理时间,并允许生产具有卓越物理尺寸和可靠性的设备。该资产非常适合高效可靠地生产半导体器件和组件。