二手 MATTSON AST 2800 #293811095 待售

MATTSON AST 2800是为晶圆高效热处理而设计的最先进的快速热处理器。它能够准确、精确地控制疏散室内的温度，以快速加工晶片，减少生产时间。这种精度和速度的结合是可能的，因为它先进的原位自感技术，能够实时精确测量温度和时间。MATTSON 2800在成本和空间效率方面也具有优势，与其他同类工具相比，需要更少的占地面积，并在保持最高质量水平的同时产生运营成本节约。AST2800具有一整套功能,包括可堆迭处理多达128个晶片、高温（最高700 °C）和快速热坡道（最高150 °C/秒）、可选择从氢到硅烷的气体、低系统压力（最低1 mb）以及一系列工艺配方,所有这些都可以为客户应用进行修改。温度均匀度步骤也非常精确，达到≥+/-3°C的精度，浸泡时间<3分钟。在安全性方面，MATTSON AST2800利用HEPA/ULPA过滤确保无颗粒环境，并设计为满足1级洁净室要求。2800还有一个自锁抽屉，用来存放加工材料，同时保持温度稳定，还有应急电源存储、超温监视器和联锁系统，如果检测到异常情况将关闭电源。总体而言，AST 2800是现代生产的理想工具，提供高效、精确、安全的热处理。凭借其先进且可定制的功能,它能够满足广泛的客户需求,同时保持流程质量和成本效率。