二手 MATTSON AST 2800 #293820853 待售

MATTSON AST 2800快速热处理器（，简称RTP）是为高通量晶圆处理而设计的半导体器件处理设备。该系统提供一系列具有精确温度控制的热处理,能够执行0.5至15摄氏度的温度斜坡速率。该机组的热处理室可配置多达12个温度区，每个温度区都有可调气流和温度范围，允许精确执行热处理。该装置旨在为各种应用提供快速循环的精确热处理。机器的快速加热和冷却过程使其成为从晶圆的顶部到底部生产超精确温度坡道的理想选择。它还旨在减少总热处理时间,同时提供精确和一致的热处理条件,从而实现工艺优化和大幅节省成本。此外，MATTSON 2800为安全操作而设计，具有氧化物积聚过多时自动保护关闭、工艺气体泄漏、热剖面不足等安全特性。该工具还配备了众多的控制系统，以帮助确保持续的质量控制。AST2800是一种适用于各种半导体应用的通用处理资产,包括内存芯片制造、超浅接头形成、薄膜沉积和蚀刻工艺。RTP模型的灵活性允许用户根据自己的应用需求定制设备配置。AST 2800还与MATTSON VISATM Automation Software兼容，后者支持自动晶圆处理、数据采集和过程日志记录。这为用户提供了其RTP操作的灵活性,允许他们创建和保存配方,以及实时监视和控制系统参数。用户还可以导入和导出食谱以供将来使用,并且软件可以根据个别实验室条件进行定制。综上所述,2800 Rapid Thermal Processor是一款多功能、高性能的设备,适用于多个半导体应用。它配备了先进的安全功能、精确的温度控制和自动化的软件，为用户提供了快速热处理晶圆的可靠、高效、经济高效的解决方桉。