二手 MATTSON AST 3000 #293815931 待售
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ID: 293815931
Rapid Thermal Processing (RTP) system
(2) Axiom chambers
(3) Load / Unloaders.
MATTSON AST 3000是一种快速热处理器(RTP),设计用于半导体和纳米技术材料的最佳热处理。这种先进的RTP特别适合在短时间内需要高温的热过程。MATTSON AST3000热质量低,非常适合高级工艺测试和生产需要。AST 3000基于MATTSON专利的异常子阈值加热技术。这与温度控制算法的改进一起,使AST能够快速准确地定义样品的热剖面。AST3000热头由一系列高精度热传感器和电子设备组成。它们取代了传统的棱镜/杆热头,允许在几秒钟内在0.1-3500摄氏度的范围内访问温度。此外,MATTSON AST 3000在冷却过程中具有接近零的加热时间,即使在要求最苛刻的处理过程中也能提供很高的热稳定性。MATTSON AST3000具有直观的用户界面,提供易于读取的阵列,以图形格式显示温度、时间和过程。通过简单的选择,用户可以快速设置热参数和热/冷控件来监控过程。该系统还提供温度稳定、批次编程、分数控制、应力补偿、即时控制以及可定制的加热和冷却剖面等高级功能。常规流程还支持区域控制、本地优化和错误保护等功能。所有数据都存储在USB内存密钥上,并且可以与任何类型的PC或数据记录器连接。除了其快速的热控特性,AST 3000在安全性方面也有所进步。它的高精度温度控制算法和专用的安全系统提供了卓越的保护,防止任何意外过热或处理。AST3000是满足磷酸盐扩散、挥发和源流植入以及纳米加工先进热处理等苛刻工艺要求的理想选择。这款卓越的散热处理器提供卓越的性能、可靠性和安全性,是满足困难和苛刻的处理需求的理想选择。
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