二手 MATTSON AST 3000 #293816538 待售

MATTSON AST 3000是一种快速热处理器（RTP），设计用于半导体基板的高精度热处理。这款第三代RTP包括一些功能,使最终用户能够实现精确的温度升高、出色的温度均匀性,并延长了生长和退火配方的运行时间,使其成为低批量生产或难以完成的工艺开发任务的理想选择。MATTSON AST3000具有一个可容纳400毫米晶圆的大型加热区域,以及一个300毫米区域和一个额外的保护环,以提高温度均匀性。该系统与Keco技术、GaAs技术包和数字控制集成在一起，提供精确的精度和温度控制的重复性，以及在复杂的热过程中运行困难配方的灵活性。AST 3000的全封闭式垂直设计确保了一致的总内部反射（TIR）,并消除了与开放平台系统关联的常见运行到运行的变化。此外,可选的气体输送系统允许在整个过程配方中运行多个气体阶段。该系统还为工艺前和工艺后温度表征和监测提供了高精度验证包。AST3000配置有静态和动态机械真空夹头。静态真空将基板牢固地固定在适当位置以进行精确的热传递，而动态真空则确保基板在机械位移过程中的位置精度。MATTSON AST 3000还具有专有的快速内部剂量管理（FIDM）算法,该算法能够精确控制快速温度坡道,并具有独特的短时间内停止和移动（SPSG）算法,以实现卓越的稳定性和可重复性。MATTSON AST3000旨在显着提高热处理效率和准确性,同时允许显着的产品周转时间。这有助于操作员在整个生产过程中降低成本,并提高整个过程的可重复性。