二手 MATTSON AST 3000 #9281772 待售

MATTSON AST 3000是一款高性能快速热处理器，由MATTSON Technology, Inc.制造。它是为半导体晶片的低通量和高通量热处理而设计的通用设备。MATTSON AST3000能够每小时处理多达200个晶圆,并为晶圆模具、基板和其他工艺温度在-100至1200 °C之间的物体提供精确的热控制。该系统能够同时处理多达15个单独的晶片批次。它利用高速SCAR（选择区大气保留）原理对加工室进行处理，以最小的气体交换实现快速热处理循环。AST 3000利用MATTSON专有PROCESSWARE软件进行过程控制、监视和数据导出。它包括多配方执行、计算机控制的数据采集和实时监控等功能。它还配备了一个自动温度控制单元，以提高精度和可重复性。这台机器的大型触摸屏显示屏提供了一个直观的用户界面，便于控制。AST3000提供极其精确和可重复的热控制,非常适合需要精确温度控制、可重复性和循环时间的生产运行。其高热通量和准确性，加上直观的用户界面和稳健的设计，使其成为寻求可靠和长期热处理的制造商的绝佳选择。