二手 MATTSON AST 3000 #9359569 待售

MATTSON AST 3000是由MATTSON开发的一款紧凑、高性能的快速热处理器，用于满足先进半导体器件生产中对先进技术的需求。MATTSON AST3000具有高效的热处理技术和高精度的处理,能够以比传统系统更快的速度提供热退火和驱动循环。AST 3000包括许多优势功能,可提高性能和准确性。它采用了多环炉设计，允许对每个单独的环进行独立的热控制，允许各种可用的驱动和退火循环。可编程的等离子体源允许在更复杂的过程中使用更多的气体成分。此外,它还具有高精度温度控制器,其超短退火时间可降低对精密设备造成热损坏的风险。AST3000还提供高吞吐量和高级分析功能。温度感应传感器单元和内置石英窗能够对过程中参数进行高精度分析，从而实现更一致的过程控制。多区域技术允许选择不同的处理区域，从而允许更大的处理灵活性。MATTSON AST 3000设计用于生产高级和高精度半导体元件。其高性能热处理能力使其非常适合3 D器件制备、工艺优化、快速器件老化评估以及先进精细半导体器件快速热处理等应用。这款自动化的快速散热处理器用户友好且易于设置，其创新设计意味着可以针对每一个应用程序和特定需求进行优化。此外，MATTSON AST3000提供卓越的能源效率和强大的热控制，使其成为生产高精度和高性能半导体元件的有效和经济高效的手段。