二手 MATTSON AST 3000 #9390654 待售

MATTSON AST 3000是一款革命性的快速热处理器（RTP），旨在为半导体处理操作提供卓越的吞吐量和成本降低。MATTSON AST3000具有先进的技术和先进的自动化设备,是高级应用步骤的理想工具,如退火、扩散、薄膜层沉积和加工,以及等离子体蚀刻和清洁,以及单晶圆和双晶圆加工。AST 3000的设计基于模块化的"Platform 3000"体系结构,它允许添加和升级,而无需完整的系统重建。AST3000是高度可配置的,并提供从数字PCR单元到增强温度控制的广泛功能。它能够宽广的温度范围，从50°C到500°C，使得它适合各种热的应用。这种先进的散热设计还可以加快坡度和冷却速度。MATTSON AST 3000配备了多种安全特性，如温度过高的保护机制，以及双模、温度调节的晶圆提升机制。提供了可选的可疏散负载锁,它允许更快的热循环和增强的过程控制。此外，该平台支持用于监控流程参数和个别机器性能的高级软件包。MATTSON AST3000配备了先进的自动化机器，整合了多个系统的任务，减少了生产中的体力劳动。与传统的手动流程相比,吞吐量可以提高到5倍。总体而言,AST 3000是一种先进的工具,可用于提高半导体处理操作的吞吐量和成本效率。它提供了性能、特性和经济性的最佳组合。