二手 MATTSON Hel-A4906 #9384683 待售

MATTSON Hel-A4906是一种快速热处理器（RTP）,可提供精确的加热、冷却和均匀性,而不是半导体晶圆。该设备可提供精确的温度曲线,用于快速开发和表征过程。它是一种基于标准热机箱（STC）技术的计算机控制设备,允许实时设置和监视每个工艺阶段。Hel-A4906配备了惰性环境以实现无污染过程。RTP具有两区操作,可将温度从20-800°C调整。两个温度设置、两个过程压力设置和宽广的温度倾斜范围可为所有应用程序类型提供精确且可重现的热过程。RTP还配备了先进的微重力技术，旨在减少半导体应用表面的热不均匀性，并允许提高均匀性。MATTSON Hel-A4906还具有一流的真空系统,能够对中低压过程进行精确的过程控制,范围为0.00100-760 Torr。真空装置包括多级扩散和涡轮泵，以达到尽可能高的疏散速率。一个可选的额外真空机可以并入到工具中，提供超高真空处理。RTP资产的设计与各种质量控制工具兼容：该仪器可与光学显微镜系统、原位扫描电子显微镜和X射线光谱仪集成。它还具有供气、质量流量控制器和外部应用的嵌入式通信协议。该模型允许整合几个自定义定义的资源，如泵、歧管、阀门和氦气泄漏检测器。此外,该设备还具有许多安全功能,例如独立的温度过高保护和自动关机系统,如果检测到安全关键故障,该系统将运行。铜块用于样品稳定和热均匀性。该单元还允许集成一个额外的射频源。总体而言,Hel-A4906是业界领先的RTP机器,它提供对加热和冷却配置文件的精确控制,以支持快速和统一的过程。其集成的质量控制工具和高级功能确保了可靠的流程性能和可重复性。