二手 MATTSON HELIOS #293665736 待售

MATTSON Helios是一种快速热处理器（RTP），旨在对各种基材和材料进行广泛的热处理。Helios的创新设计使它能够在几秒钟或几分钟内将材料加热到900 °C。它经过灵敏的工程设计，在整个晶圆表面采用严格的严格工艺控制和均匀性。MATTSON Helios利用PECVD（等离子体增强型化学气相沉积）和准分子激光退火技术，在不影响均匀性和工艺控制的情况下实现尽可能快的加热速率。这使得该工具能够以精确的温度和时间间隔处理不同的基材和材料，同时将热预算降至最低。Helios还配备了一个高温范围加热器，可在950摄氏度以下的温度下进行退火、双5kW低噪声、高密度等离子体源以及在批量或串联RTP模式下运行的能力。MATTSON Helios为用户提供了一种创新、快速和可靠的工艺工具,可以精确控制各种热工艺中的温度和时间。其坚固的设计、严密的控制和均匀的加热使不同的材料能够精确退火，从而产生优质的产品。它的快速加热能力、高温范围加热器和多个等离子体源为用户提供了高精度控制参数的能力。这使Helios成为寻求可靠、高性能RTP和出色过程控制的用户的理想选择。