二手 MATTSON HELIOS #293762406 待售

MATTSON HELIOS是一种快速热处理器，设计用于快速加热和冷却半导体晶圆材料，具有精确和可重复性。它是一种闭环半自动加工工具，根据热传感器的反馈和正在监测的晶片表面的实际温度来调整晶片的温度。热处理器配备了快速热响应设备，确保晶圆的温度环境更加稳定，允许长时间的温度控制。它还有一个支持多种气流的可变流量气体控制系统。这个单位允许通过改变气体的任何组合的压力/流速来确定一个温度范围。HELIOS主要用于热处理步骤中的晶片退火，如氧化、扩散和离子植入。氧化过程中可调节的温度设置可以改善加工设备的电气特性。通过控制温度，可以比传统退火方法更快速、更准确地实现更高的温度。机器的升级也很方便，因为它可以针对不同的工艺配方和不同类型的晶圆进行编程。它还有一个嵌入式控制器,可用于过程监视和控制。此外,其直观的GUI允许轻松编程和过程优化。MATTSON HELIOS也被用于减轻压力。它的快速热响应工具能够创建无应变晶片，并具有一致的可靠结果。通过保持高温，然后将晶片材料快速冷却至室温，减轻应力过程有助于均匀地松弛晶片结构中的残余应力。HELIOS在温度控制、可重复性和可升级性等方面具有优越的特性。通过对温度可调节的半导体晶片材料进行精确加热，非常适合实现良好的电气特性和减压效果。这使得它成为满足半导体行业中高批量生产需求的理想选择。