二手 MATTSON Helios #293821467 待售

MATTSON HELIOS是一种快速热处理器（RTP），专门为半导体工业中的工艺应用而开发。它是一种低压高温系统，设计用于快速准确地加热和冷却，使用户能够统一处理晶片。HELIOS的主要应用包括半导体材料的快速热退火、活化、扩散、氧化和氮化。该系统配备了快速反应高温工艺室、温度控制、RTP监视器以及配套公用事业。MATTSON HELIOS是一款6英寸、100毫米角仰角快速热处理器。采用两种不同的加热方法，设计成均匀快速加热和冷却晶片。第一种是直接视线加热源，从加热元件向晶片提供直接加热。二是间接视线法，将视线窗口融入系统，使能量可以通过，并根据需要加热或冷却。这使得晶片表面的加热或冷却更加均匀。HELIOS还包含了几个用于精确温度监测的功能。这些功能包括实时温度读出显示器、热飞行时间探测器和用户选择的用于精确温度控制的热扩散率参数。飞行时间探针测量从加热元件发出的能量到达晶圆所需的时间，可用于计算所需过程的最佳温度。MATTSON HELIOS还有几个功能，为用户提供了高度准确和可重复的结果。这些功能包括温度循环器、倾斜计时器和微污染监视器。温度循环器提供了一个方便的方式，用户循环通过提高精度和可重复性的过程。倾斜计时器会根据任何给定过程所需的保持时间自动调整RTP的倾斜角度。最后，微污染监测能够准确检测过程中的污染物。此外，HELIOS还设计了安全措施，以确保所有在该单位附近工作的人员的安全。这包括一个玻璃室，当检测到暴露于该室时，它会自动关闭设备。它还包括灭火系统和自动关闭，如果微波是过度发射。总之，MATTSON HELIOS是一种通用可靠的快速热处理器，为各种半导体工艺提供均匀的加热和冷却。它具有符合人体工程学的设计，确保人员安全，并提供精确的温度控制，以实现准确和可重复的结果。